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擴散硅壓力傳感器工作原理和壓力信號測量技術

發表時間:2022-03-28 17:57【 閱讀量:-查看手機網址
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  壓阻式壓力傳感器擴散硅壓力傳感器,由于MEMS制造技術的廣泛應用,壓阻式傳感器已成為常用的壓力傳感器。 這些使得傳感器的生產成本相對較低,假設它們不需要專門的包裝來處理惡劣的環境。然而,傳感元件對環境溫度敏感,它們對溫度變化的響應不是線性的。

  擴散硅壓力傳感器.png

  因此,需要校準傳感器,并在溫度背景下解釋它們的輸入。使用電阻進行測量還帶來了在傳感器處于活動狀態時要求恒定電流流動的問題,這增加了系統能量需求,這在移動或物聯網環境中可能會很麻煩。

  

  擴散硅壓力傳感器是一種典型且常用的壓力測量儀表,它由兩部分組成:一是檢測元件,即擴散壓阻式壓力傳感器,負責將物理量壓力信號轉換為電壓信號。工作地點;另一種是多功能信號處理電路,負責將物理量壓力信號轉換為電壓信號。傳感器的輸出電壓信號經過放大和兩線信號處理后,輸出標準信號。因其測量精度高、動態響應快,被廣泛應用于各行各業。

  

  擴散硅壓力傳感器工作原理:

  

  基于單晶肉桂的壓阻效應,采用先進的加工工藝在特定方向上制造出彈性元件。四個電阻相等的應變電阻通過集成電路技術在適當的位置制造并連接到惠斯通電橋。當在電橋上施加恒定電壓(電流)時,當彈性元件上存在壓力(差壓)時,傳感器輸出一個與介質給定壓力成線性比例的電壓信號,然后將電壓信號通過電子電路并將其轉換為標準的兩線信號。根據其工作原理,溫漂的主要來源是傳感器部分的溫漂。

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